การแนะนำ
การสะสมไอของ Vacuum Vapor (PVD) เป็นอุปกรณ์ที่มีประสิทธิภาพสูงที่ออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับการวางฟิล์มบางและการเคลือบลงบนวัสดุที่หลากหลาย การใช้เทคโนโลยีสูญญากาศขั้นสูงรวมกับกระบวนการสะสมไอทางกายภาพเช่นการระเหยการสปัตเตอร์และการสะสมส่วนโค้งเตานี้ช่วยให้มั่นใจได้ว่าการยึดเกาะของฟิล์มที่เหนือกว่าความสม่ำเสมอและความบริสุทธิ์
เหมาะสำหรับอุตสาหกรรมเช่นการผลิตเซมิคอนดักเตอร์เครื่องมือและการเคลือบตายการเคลือบด้วยแสงชิ้นส่วนยานยนต์และส่วนประกอบการบินและอวกาศเตาสุญญากาศ PVD นำเสนอโซลูชั่นที่ประหยัดต้นทุนและคุณภาพสูงสำหรับความต้องการด้านวิศวกรรมพื้นผิวที่ทันสมัย
คุณสมบัติที่สำคัญ
1. ระบบสูญญากาศขั้นสูง
บรรลุระดับสูญญากาศสูงถึง 1 ×10⁻⁴ PA ทำให้มั่นใจได้ว่าการปนเปื้อนน้อยที่สุดและความบริสุทธิ์ของฟิล์มที่เพิ่มขึ้น
พร้อมกับปั๊มสูญญากาศที่มีประสิทธิภาพสูงเช่นปั๊มเทอร์โบโมเลกุลปั๊มแพร่กระจายและปั๊มแห้ง
สภาพแวดล้อมสูญญากาศที่มั่นคงมีความสำคัญต่อการบรรลุการเคลือบที่มีคุณภาพสูงและปราศจากข้อบกพร่อง
✔ประโยชน์: การยึดเกาะแบบเคลือบที่เหนือกว่าและความหนาของฟิล์มที่สอดคล้องกัน
2. เทคนิคการสะสมอเนกประสงค์
รองรับวิธี PVD หลายวิธีรวมถึง:
การระเหยด้วยความร้อน
การระเหยของลำแสงอิเล็กตรอน (E-beam)
Magnetron Sputtering (DC และ RF)
การระเหยของอาร์ค
ความสามารถในกระบวนการที่ยืดหยุ่นช่วยให้การสะสมของโลหะ, เซรามิก, โลหะผสมและวัสดุคอมโพสิต
✔เหมาะสำหรับการใช้งานตั้งแต่การเคลือบตกแต่งบาง ๆ ไปจนถึงการเคลือบที่ใช้งานได้ยากและทนต่อการสึกหรอ
3. อุณหภูมิที่แม่นยำและการควบคุมกระบวนการ
ระบบทำความร้อนแบบหลายโซนแบบบูรณาการให้ความร้อนพื้นผิวที่สม่ำเสมอสูงถึง 1,000 ° C
การควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยำช่วยให้มั่นใจได้ว่าเงื่อนไขการสะสมที่เหมาะสมสำหรับวัสดุต่าง ๆ
การตรวจสอบระดับสูญญากาศแบบเรียลไทม์อัตราการไหลของก๊าซและอัตราการสะสมผ่านระบบควบคุม PLC + HMI
✔ผลลัพธ์: แบทช์ประสิทธิภาพการเคลือบที่น่าเชื่อถือและทำซ้ำได้หลังจากแบทช์
4. ความสม่ำเสมอของการสะสมสูง
การออกแบบห้องพร้อมการเปลี่ยนแปลงการไหลของก๊าซที่ดีที่สุดและการกำหนดค่าเป้าหมายขั้นสูงช่วยให้มั่นใจได้ถึงความหนาของฟิล์มในทุกพื้นผิวพื้นผิว
เหมาะสำหรับการเคลือบรูปทรงเรขาคณิตที่ซับซ้อนรวมถึงส่วนประกอบทรงกระบอกแบนและ contoured
✔สร้างความมั่นใจว่าพื้นผิวที่ยอดเยี่ยมและคุณสมบัติเชิงกลที่สอดคล้องกัน
5. การออกแบบห้องที่ปรับแต่งได้
ขนาดห้องมาตรฐานและแบบกำหนดเองพร้อมให้เหมาะกับปริมาณการผลิตที่แตกต่างกัน
ตัวเลือกสำหรับการประมวลผลแบบแบทช์ระบบต่อเนื่องแบบอินไลน์และการเคลือบ PVD แบบม้วนเพื่อม้วนสำหรับพื้นผิวที่ยืดหยุ่น
เส้นทางการอัพเกรดแบบแยกส่วนช่วยให้ผู้ใช้สามารถเพิ่มแหล่งหรือเทคโนโลยีใหม่ได้อย่างง่ายดายตามความต้องการวิวัฒนาการ
แอปพลิเคชัน
เตาสุญญากาศ PVD ใช้กันอย่างแพร่หลายในหลายอุตสาหกรรม:
อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์: การทับถมของชั้นสิ่งกีดขวางชั้นโลหะและการเคลือบที่ใช้งานได้
การเคลือบเครื่องมือ: การเคลือบอย่างหนักเช่น TIN, TIALN และ CRN เพื่อปรับปรุงอายุการใช้งานและประสิทธิภาพของเครื่องมือตัด
การเคลือบด้วยแสง: การเคลือบป้องกันแสงสะท้อนการเคลือบกระจกและภาพยนตร์ตกแต่ง
อุปกรณ์การแพทย์: สารเคลือบผิวที่เข้ากันได้ทางชีวภาพสำหรับการปลูกถ่ายและเครื่องมือผ่าตัด
ส่วนประกอบยานยนต์: การเคลือบที่ทนต่อการสึกหรอและความงามสำหรับชิ้นส่วนเครื่องยนต์และการตกแต่งภายใน/ภายนอก
ข้อดีของการสะสมของวัณโรค
การเคลือบที่มีความบริสุทธิ์สูงพร้อมความแข็งแรงของการยึดเกาะที่ยอดเยี่ยม
ความเข้ากันได้ของวัสดุที่มีขนาดกว้างโลหะรองรับเซรามิกและคอมโพสิต
การผลิตที่ปรับขนาดได้ตั้งแต่ R&D ขนาดเล็กไปจนถึงการผลิตอุตสาหกรรมจำนวนมาก
ต้นทุนการดำเนินงานที่ลดลงเมื่อเทียบกับวิธีการสะสมไอสารเคมี (CVD)
กระบวนการที่เป็นมิตรกับสิ่งแวดล้อมพร้อมการผลิตของเสียน้อยที่สุด
การควบคุมและการตรวจสอบอัจฉริยะ
ระบบ PLC อัตโนมัติเต็มรูปแบบควบคุมวงจรการสะสมทั้งหมด
ความสามารถในการตรวจสอบพารามิเตอร์และการปรับเวลาแบบเรียลไทม์ช่วยเพิ่มประสิทธิภาพกระบวนการ
การเข้าถึงระยะไกลและการวินิจฉัยช่วยให้สามารถแก้ไขปัญหาได้อย่างรวดเร็วและการหยุดทำงานน้อยที่สุด
การบันทึกข้อมูลและการจัดการสูตรช่วยเปิดใช้งานคุณภาพการผลิตแบบแบทช์ต่อแบทช์ที่สอดคล้องกัน
✔การผลิตอัจฉริยะพร้อมสำหรับการรวมอุตสาหกรรม 4.0
ทำไมต้องเลือกเตาสุญญากาศ PVD ของเรา?
ความเชี่ยวชาญด้านเทคโนโลยีสูญญากาศกว่า 20 ปีในการออกแบบและการผลิตเตาเผา
โซลูชั่นที่ปรับให้เหมาะสมเพื่อตอบสนองความต้องการของอุตสาหกรรมและแอปพลิเคชันที่เฉพาะเจาะจง
การติดตั้งการฝึกอบรมและการสนับสนุนทางเทคนิคทั่วโลก
ความน่าเชื่อถือสูงและอายุการใช้งานที่ยาวนานได้รับการสนับสนุนโดยการรับประกันที่ครอบคลุมและข้อตกลงการบริการ
ประสิทธิภาพที่ได้รับการพิสูจน์แล้วใน Semiconductor Fabs ผู้ผลิตเครื่องมือ OEM ยานยนต์และสถาบันวิจัย
Contact Now